碳?xì)涑暡ㄇ逑礄C按照工件搬運的自動化程度可分為全自動、半自動和手動；按照清洗槽的數(shù)量可分為單槽機、雙槽機、多槽機等；按照清洗工件體積可分為大型機、中型機和小型機；按照蒸餾裝置與清洗裝置的結(jié)合方式可分為一體式和分離式，按照清洗對象還有電鍍、熱處理、卷材清洗專用機。根據(jù)真空清洗干燥機各部分的作用，可分為清洗系統(tǒng)、干燥系統(tǒng)、蒸餾再生系統(tǒng)、輸送系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、安全輔助裝置幾部分。近些經(jīng)過國內(nèi)生產(chǎn)廠家經(jīng)過多年的研究開發(fā)，使真空清洗干燥機的技術(shù)水平逐步提高，功能不斷完善，洗凈力大幅度提高、成本進(jìn)一步下降、可以滿足更多客戶的清洗要求，從而使碳?xì)淝逑醇夹g(shù)日臻成熟，被越來越多的客戶所認(rèn)同，在替代ODS和有害清洗溶劑中發(fā)揮了巨大作用

 碳?xì)涑暡ㄇ逑礄C主要由超聲波發(fā)生器，超聲波換能器，清洗槽，真空干燥系統(tǒng)，蒸餾回收槽，循環(huán)過濾系統(tǒng)，分水系統(tǒng)，自動控溫加熱系統(tǒng)，地盤及機架，進(jìn)出料輸送系統(tǒng)，輕型多臂機械手，抽排系統(tǒng)，全封閉外罩，觀察窗和控制系統(tǒng)組成。